Optical and X-ray techniques are powerful ways to characterize semiconductor thin films. They can be used to measure film thickness, purity and crystalline quality, and for compositional analysis. Modern techniques are fast, turn-key, and generally non-destructive, allowing for rapid assessment of material properties. This course describes the fundamentals of optical and X-ray characterization and provides real-world examples of how they are used in semiconductor manufacturing.
Optical and X-Ray Characterization
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Optical and X-Ray Characterization
Ce cours fait partie de Spécialisation Semiconductor Characterization
Instructeur : Trevor Thornton
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4.8
(13 avis)
niveau Intermédiaire
Expérience recommandée
4 heures pour terminer
3 semaines à 1 heure par semaine
Planning flexible
Apprenez à votre propre rythme
Ce que vous apprendrez
Describe the use of light to measure the thickness and refractive index of thin transparent films.
Explain how light is absorbed and emitted by semiconductors.
Explain the advantages and limitations of optical and X-ray characterization.
Compétences que vous acquerrez
- Catégorie : Semiconductor Device
- Catégorie : Complementary Metal Oxide Semiconductor (CMOS)
- Catégorie : Semiconductors
- Catégorie : Semiconductor Characterization Techniques
- Catégorie : Semiconductor Materials
- Catégorie : Semiconductor Device Physics
Détails à connaître
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Évaluations
5 devoirs
Enseigné en Anglais
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Optical and X-ray techniques are powerful ways to characterize semiconductor thin films. They can be used to measure film thickness, purity and crystalline quality, and for compositional analysis. Modern techniques are fast, turn-key, and generally non-destructive, allowing for rapid assessment of material properties. This course describes the fundamentals of optical and X-ray characterization and provides real-world examples of how they are used in semiconductor manufacturing.
Inclus
1 vidéo2 lectures
This week introduces the concept of reflectance spectroscopy: a rapid, convenient, and non-destructive technique for measuring the thickness of transparent materials.
Inclus
2 vidéos1 lecture1 devoir
This week, you will learn about ellipsometry, a powerful technique that allows us to extract the thickness and refractive index of transparent layers as thin as a few nanometers.
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1 vidéo1 lecture1 devoir
This week, you will learn about photoluminescence.
Inclus
1 vidéo1 lecture1 devoir
This week, you will learn about electron microprobe X-ray analysis.
Inclus
2 vidéos1 devoir
This week, you will complete a case study to assess your ability to analyze electron microprobe x-ray images to determine the constituent elements in a 40 nm MOSFET.
Inclus
1 vidéo1 lecture1 devoir
Instructeur
Évaluations de l’enseignant
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Révisé le 8 mai 2024
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