Arizona State University
Electron and Ion Beam Characterization

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Electron and Ion Beam Characterization

Trevor Thornton

Instructeur : Trevor Thornton

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Ce que vous apprendrez

  • Explain the interaction of electron and ion beams with semiconductor materials.

  • Describe the constituent components of electron and ion beam characterization systems.

  • Describe applications of electron and ion beam characterization.

Compétences que vous acquerrez

  • Catégorie : Semiconductor Device
  • Catégorie : Complementary Metal Oxide Semiconductor (CMOS)
  • Catégorie : Semiconductors
  • Catégorie : Semiconductor Characterization Techniques
  • Catégorie : Semiconductor Materials
  • Catégorie : Semiconductor Device Physics

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5 devoirs

Enseigné en Anglais

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Il y a 5 modules dans ce cours

Electron and ion beams are widely used for both qualitative and quantitative analysis of semiconductor materials and devices. They can be used to image structures with sub-nm resolution and to provide information about elemental composition and dopant concentration. This course describes the fundamentals of electron and ion beam characterization and includes a project that analyzes the surface roughness of a solar cell.

Inclus

1 vidéo2 lectures

This week introduces the concepts of scanning electron microscopy and how it is used for both qualitative and quantitative sample analysis.

Inclus

2 vidéos1 lecture1 devoir

This week, you will learn about Auger electron emission spectroscopy, a powerful technique for surface analysis.

Inclus

3 vidéos1 lecture1 devoir

This week, you will learn about secondary ion mass spectroscopy and how it is used to measure the concentration and distribution of constituent materials in semiconductors.

Inclus

2 vidéos1 lecture1 devoir

This week, you will complete a case study to assess your ability to use images obtained from an SEM for quantitative surface analysis.

Inclus

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Instructeur

Trevor Thornton
Arizona State University
5 Cours2 368 apprenants

Offert par

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